企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 广东 东莞 东莞市 |
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公司官网: | www.dgbayi.com |
公司地址: | 东莞市塘厦镇林村社区田心41号 |
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等离子电浆抛光机工艺介绍等离子电浆抛光机是一种基于低温等离子体技术的精密表面处理设备,通过电离气体产生的活性粒子实现材料表面的超精细加工。其原理是在真空环境下,利用高频电场将惰性气体(如气)电离为等离子态,形成高能电子、离子和自由基的混合体。这些高活性粒子以物理轰击与化学蚀刻协同作用,逐层剥离材料表面纳米级凸起,达到原子级平整效果。工艺流程分为四个阶段:首行预处理,通过超声波清洗去除工件表面油脂与颗粒;随后在真空腔体内通入工艺气体,施加射频电源激发稳定等离子体;接着通过控制气体流量、功率及处理时间(通常为5-30分钟),实现0.1-1μm的材料去除量;进行惰性气体保护冷却,避免二次氧化。关键参数包括工作压力(10-100Pa)、射频频率(13.56MHz或2.45GHz)及温度控制(50-200℃)。该技术主要应用于航空航天精密部件、半导体晶圆、植入体及光学镜片等领域,尤其擅长处理不锈钢、钛合金等难加工材料。相较于传统抛光,其优势显著:非接触式加工消除机械应力,可处理复杂微结构;表面粗糙度可达Ra≤0.01μm,且无化学残留;能耗降低40%以上,废弃物排放减少90%。随着5G精密零部件和微型需求增长,等离子抛光正逐步成为制造领域的关键表面处理技术。
等离子抛光机的结构组成(约450字)等离子抛光机是一种利用低温等离子体技术实现表面处理的精密设备,其结构由七大系统组成:1.高频电源系统作为设备的动力源,采用高频逆变技术(通常为20-100kHz),可输出10-50kV的高压电场。电源系统配备智能调节模块,能根据工艺需求自动调整输出参数,确保等离子体稳定生成。主要包含整流单元、逆变单元和升压变压器等组件。2.等离子发生器由特殊合金电极和陶瓷介质管构成放电腔体,通过高压击穿工艺气体形成等离子体束。关键部件包括:-钨铜合金主电极-多层陶瓷绝缘介质管-气体分配环-等离子喷嘴组件3.真空工作腔室采用316L不锈钢制造的双层水冷腔体,配备石英观察窗和自动门锁系统。腔室容积根据型号不同在20-200L间变化,内部配置可旋转工装夹具(转速0-50rpm可调),并集成温度传感器和压力传感器。4.气体供应系统包含气体混合装置、质量流量控制器(MFC)和废气处理单元。典型配置为气(主气源)+氧气/氮气(反应气体)双路供气系统,气体纯度要求达到99.999%,流量控制精度±1%FS。5.循环冷却系统由板式换热器、循环泵和温度控制单元组成,采用去离子水作为冷却介质,维持电极温度在15-25℃。冷却功率根据机型不同在5-30kW之间,配备漏水检测和流量报警装置。6.运动控制系统包含三轴机械臂(定位精度±0.05mm)、旋转工作台和视觉定位系统。伺服电机驱动,搭配行星减速机,实现复杂曲面工件的自动抛光。运动轨迹可通过PLC或工业PC编程控制。7.监测与安全系统集成等离子体光谱分析仪(波长范围200-1000nm)、表面测温仪(精度±2℃)和残余气体分析仪。安全防护包括双重门联锁、过压保护、电弧检测和紧急停机装置,符合CE安全标准。辅助系统包含工艺数据库管理模块、废气净化塔(活性炭+HEPA过滤)和去离子水制备装置。整机采用模块化设计,各系统通过工业总线互联,支持远程监控和工艺参数云端存储。
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